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成果報告資料顯示 - 工程科技推展中心

除了這些方法之外，也可以沉積一層或兩層硬質罩幕層(hard mask)在介電層上面以幫助蝕刻及蝕刻選擇比 (etch selectivity) 。為了配合各模組製程能力，介電層中間的蝕刻 ...

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