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蝕刻技術 - 中文百科全書

低成本、高可靠性、高產能及優越的蝕刻選擇比。但相對於乾式蝕刻，除了無法定義較細的線寬外，濕式蝕刻仍有以下的缺點：1) 需花費較高成本的反應溶液及去離子水；2) ...

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