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新型次微米級氣泡產生裝置之設計與製作及生成氣泡之觀測

濕式化學蝕刻製程簡單、產量大、各晶面的蝕刻速率也不相同，尤其在矽晶體的<100>及<111>兩種晶面上，使用鹼液時，蝕刻選擇比也高，蝕刻選擇比就是單位時間內，各晶面 ...

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