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PSS乾式蝕刻機 - AST聚昌科技

1. 針對2"、4"、6" LED圖型化藍寶石基板,PSS 量產型乾式蝕刻設備。 · 2. Automation:6層晶片盤卡閘式設計，提升產能 · 3. 可擴充製程腔體(製程腔反應室)至三個腔體同時運作。

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