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乾式蝕刻機-漢民科技股份有限公司 - Touch Taiwan

利用製程氣體作為反應物，以低壓和高能的環境產生電漿，去除晶圓表面定義之特定圖形。可依不同氣體組成去除GaAs, GaN, 光阻, 金屬層或介電層等材料。

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