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中微發佈第一代電感耦合等離子體蝕刻設備Primo nanova(R)

該設備採用了中微具有自主智慧財產權的電感耦合等離子體蝕刻技術和許多創新的功能，以幫助客戶達到晶片製造製程的關鍵指標，例如關鍵尺寸（CD）蝕刻的精准 ...

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