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Ch9 Etching

蝕刻 輪廓. 等向性. 可控制從非等向性到. 等向性. 蝕刻速率. 高. 尚可，且可控制. 選擇性. 高. 尚可，且可控制. 設備用費. 低. 高. 產量. 高(批量). 尚可，且可控制.

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