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美商科林研發(Lam Research)於乾蝕刻設備之關鍵技術與市場 ...

圖1 3D NAND新世代產品之複雜度、開發時間、成本逐漸增加圖2 Lam乾蝕刻設備具高度智慧化圖3 電漿蝕刻設備因晶片邊緣效應導致CD漂移現象圖4 Lam ...

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