答:氧化矽/氮化矽何謂溼式蝕刻答:利用液相的酸液或溶劑;將不要的薄膜去除何謂電漿Plasma? 半導體100問:ETCH知識講解. 答:Oxideetch and nitride etch 半導體中一般介電 ...
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