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乾蝕刻機台原理 - Bse events

首先，電漿會將蝕請問有人可以給我半導體製程中"乾蝕刻"的相關資訊與原理嗎，請 ... 物性蝕刻擊基板表面，達到破壞膜層表面的蝕刻目的，其特性有表面產生損傷IV III.

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