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濕蝕刻與乾蝕刻半導體製程技術 - Apfigp
也同時會移除光阻罩幕。 圖4-2:濕蝕刻與乾蝕刻的比較圖參考資… 以化學藥品與材料產生化學反應,經由化學反應以達到蝕刻的目的,使用的方法有「濕式蝕刻」與「乾式 ...
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