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電機與電子工程系碩士班碩士論文爐管氮化矽均勻度改善之研究 ...

濕蝕刻是使晶片沉浸在適當的化學溶液中，或將化學溶液噴灑至晶. 片上，經由容易與被蝕刻物的化學反應，來進行移除薄膜表面的原子，. 以達到蝕刻的目的。

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