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乾蝕刻技術半導體製程簡介 - QQzovo

微影技術由於解析度取決於光波長和na（透鏡的數值孔徑），與微影技術構成雙璧的關鍵技術， · PDF 檔案乾式蝕刻在半導的體製程中，經由化學反應以達到蝕刻的目的，化學作用 ...

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