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群創光電B 廠(M02)蝕刻製程SF6 破壞去除設備排放減量專案計 ...

本專案執行目的為於本公司B 廠蝕刻製程，裝設燃燒式尾氣破壞去除設備，降低. SF6 的排放，以期達到溫室氣體排放減量。 2. 專案活動地點. 本專案執行地點為群創光電股份 ...

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