蝕刻. ‧ 物理氣相沉積. ‧ 離子佈植. ‧ 光阻剝除. ‧ 製程反應室的的乾式清洗 ... 電漿蝕刻. ▫ 氧化物蝕刻製程，在電漿中使用CF ... 增進蝕刻製程的化學反應 ...
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