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蝕刻目的
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「蝕刻升級篇」剖析干蝕刻和濕蝕刻的作用、製程及其原理
Dry Etch工序的目的廣義而言,所謂的刻蝕技術,是將顯影后所產生的光阻圖案真實地轉印到光阻下的材質上,形成由光刻技術定義的圖形。它包含了將材質整面 ...
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