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Item 310360000Q/19292 - National University of Kaohsiung ...

... 矽之金屬輔助蝕刻技術，設計建置一套鐵氟龍蝕刻載具，以石墨為電極，透過外部電壓調整樣品之蝕刻電流密度，達調控蝕刻反應速率與蝕刻機制之目的。

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