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化学蚀刻

本教学案例的目的是研究湿法蚀刻过程中铜基质材料如何耗尽，以及腔体形状如何演变。湿法化学蚀刻对于微电子工业中集成电路、MEMS 器件、光电子和压力传感器的图案设计尤其 ...

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