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國立中央大學光電中心HDP 高密度電漿蝕刻機使用規範

HDP 高密度電漿蝕刻機使用規範. 一、目的：為維持本實驗室正常運作且發揮其最大功能，特訂定此管理辦法，供使用者依循。 二、設備型號：Nextral 860L TC300.

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