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MEMS相關用語

等向性蝕刻, 利用自由基沿深度方向、橫向進行的蝕刻. 非等向蝕刻 ... 博世製程, Si深度蝕刻的主要技術。 ... 晶圓接合, 以封裝等為目的進行的晶圓之間的接合.

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