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清洗製程

目的 ：. – 去除金屬雜質、有機物污染、微. 塵與自然氧化物. 降低表面粗糙度. – 降低表面粗糙度. • 時機：幾乎所有製程之前或後， ... 蝕刻、植離子、灰化。

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