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以SF6/O2/Ar 感應偶合電漿蝕刻碳化矽材料 - 中華大學

構，探討氣體混合比例與製程時間對蝕刻產生之表面形貌及表面粗糙. 度之影響。 ... 蝕刻液(Etchant)與材料本身產生化學反應而達到蝕刻的目的，其蝕刻.

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