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電漿深蝕刻設備及其製程技術-先進製造技術專輯 - 機械工業網

工研院機械所自行建置一智慧化電漿蝕刻設備，可控制蝕刻輪廓，同時能搭配製程參數 ... 於各項先進半導體製程與設備的開發，期望達到促進國內產業升級與進步的目的。

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