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常壓電漿束於矽蝕刻之應用 - 工業技術研究院

表面間之作用機制；此外，亦探討其電漿束於矽材蝕刻之應用可行性。 ... 其中，電漿蝕刻(plasma etching)即為製 ... 蝕刻目的，常見的電漿蝕刻矽晶圓製程乃通入含氟.

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