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蝕刻步驟
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應用材料建全球最大半導體設施,背後野心:搶1兆美元商機! ...
如下圖,咖啡色處即為裝載晶圓的容器,將以自動化方式送入斜右方的白色區域的各製程室,讓晶圓可用一個設備完成多個製程步驟,包含磊晶、蝕刻和化學 ...
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