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工程材料科學 - 第 20-20 頁 - Google 圖書結果

近數十年來微電子產業將圖形轉移步驟所需之曝光光源波長大幅降低,以免因光學繞射 ... 需的薄膜沉積技術與圖案蝕刻技術雖亦皆在積極發展中,但距離成熟階段仍有些距離。

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