採用 LPE 磊晶再成長牽涉到蝕刻表面回熔(melt-back)清潔步驟[2][3], ... 採用分子束磊晶法再成長通常會將乾式蝕刻(dry etching)機台與超高真空的MBE 磊晶腔體串聯 ...
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