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石英蝕刻微結構之非等向性研究

而蝕刻也是必須且重要性的一環製程步驟，在半導體製程中經由塗佈得到薄膜，再逐步逐層的經由沉積、顯影後，就是進行乾式蝕刻(Dry Etching)或是濕式 ...

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