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蝕刻步驟
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光刻機?曝光機?從製程特性聊怎麼稱呼更合理
最後才會進入”刻”的步驟,這步驟會以液體或電漿,將沒有受到光阻保護的部分蝕刻,蝕刻完畢後經過清洗,就完成這一層的線路。而半導體製程依造設計會有非常 ...
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「蝕刻步驟」
的人也找了:
蝕刻製程ppt
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