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成果報告資料顯示

與溝槽(trcnch)，也需要至少兩次蝕刻、兩次灰化(ash)、兩次洗淨步驟。在一道先進光罩約二百萬台幣的情況下，一金屬層需要兩道光罩，而且在內連線層數不斷增加的趨勢 ...

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