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蝕刻步驟
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「濕蝕刻」找工作職缺|2023年8月- 濕蝕刻
濕蝕刻三步驟為擴散→反應→擴散出如圖所示. 圖以濕式法進行薄膜蝕刻時,蝕刻溶液即因此,本文提出利用表面聲波感測器來即時監控濕蝕刻中矽晶片薄膜 ...
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