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光阻鍍膜機與濕蝕刻清洗機之製程與設備技術實務

微影的基本製程也就是由光阻覆蓋(Coating)，曝光、及顯影等步驟所構成. 的。但是為了加強圖案傳送的精確性與可靠性，整個微影製程還包括去水烘烤. (Dehydration Bake)，塗 ...

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