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乾蝕刻技術

蝕刻. 氮化矽. 氮化矽. 二氧化矽蝕刻幕罩. 光阻圖案 ... 高激發能量. 電漿蝕刻. 物理濺擊或離子銑削、電漿蝕刻、與. 活性離子蝕刻之關係 ... 蝕刻製程步驟. 蝕刻原理.

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