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乾蝕刻

乾式蝕刻反應性離子蝕刻裝置乾式蝕刻非等向性蝕刻與等向性蝕刻抗蝕劑剝離． ... (電漿) 蝕刻主要用於形成電路的製程步驟；「濕式」蝕刻(使用化學槽浴) ...

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