本文主要介紹a-Si:H TFT LCD 的array 陣列製造技術,由不同的TFT 元件結構介紹說. 起,再深入製造技術-分清洗、沈積、黃光及蝕刻四大步驟,闡述各生產技術的重點。其. 中 ...
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