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蝕刻技術＠BW Cutting Tools >蝕刻技術＠ - 電漿蝕刻

「乾式」 電漿蝕刻主要用於形成電路的製程步驟；「濕式」蝕刻使用化學槽浴則用於清潔晶圓表面。 應材也提供創新式的「乾式」移除製程，不需使用電漿， ...

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