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Chap9 蝕刻(Etching)

◇Polycide的蝕刻步驟. ➢ 先對多晶矽化金屬上的矽化金屬進行蝕刻。主要是去除未被. 光阻保護的矽化金屬層及原生氧化層。 ➢ 氟原子和氯原子都可以和各種過渡金屬形成 ...

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