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電漿蝕刻- 如何在电浆蚀刻制程中控制晶圆的制程均匀度？ 搜狐

電漿蝕刻利用電漿，將反應氣體的分子，解離成對薄膜材質具反應性的離子， ... 「乾式」 電漿蝕刻主要用於形成電路的製程步驟；「濕式」蝕刻使用化學槽浴則用於清潔晶圓 ...

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