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加速特徵相關的乾式蝕刻製程發展- 電子技術設計

模擬實驗設計使用了恆定蝕刻量和不同的角分散(高斯分佈的標準差)，進行類比並顯示增量材料刪除步驟失效。右側的長條圖說明了角度分佈與軟體中數值設置 ...

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