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電漿深蝕刻設備及其製程技術

工研院機械所自行建置一智慧化電漿蝕刻設備，可控制蝕刻輪廓，. 同時能搭配製程參數蒐集與分析技術，進行高深寬比蝕刻製程。 ... 圖1 Bosch 製程步驟 ...

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