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電漿深蝕刻設備及其製程技術

在本文中將介紹目前電漿深蝕刻設備建置現況與初步深蝕刻製程驗證結果。 ... 向性及等向性蝕刻等步驟，全部流程皆為電漿離子態形式，是一種全電漿製程 ...

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