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TEL te5000 氧化矽乾蝕刻機標準製程步驟:

TCP 9600SE金屬乾蝕刻機標準製程. Standard Process ... 不需額外設定蝕刻時間 ... 步驟: 可蝕刻材料Al-Si-Cu、Ti/TiN等Si基礎之材料為基板. ↓. 光阻塗佈(Track).

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