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蝕刻半導體
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https://technews.tw/2023/06/30/why-fab-and-cleanroom-are-yellow/
為何半導體無塵室都採用黃光?原來影響晶片關鍵步驟
等蝕刻完畢,清除掉剩餘的光阻,就完成微影製程。 (Source:台積電). 由於微影製程所使用的光阻劑,是由樹脂、溶劑和添加劑組成 ...
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「蝕刻半導體」
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