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為何半導體無塵室都採用黃光?原來影響晶片關鍵步驟

等蝕刻完畢,清除掉剩餘的光阻,就完成微影製程。 (Source:台積電). 由於微影製程所使用的光阻劑,是由樹脂、溶劑和添加劑組成 ...

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