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蝕刻半導體
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原子尺度的半導體蝕刻方法 - 科技產業資訊室- 國家實驗研究院
圖、原子尺度的半導體蝕刻方法. 在半導體標準微影蝕刻製程中,須將光阻薄膜塗佈在矽晶圓片上,並利用光罩的電路圖案使光阻膜曝光,然後以腐蝕性化學 ...
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