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奈米深蝕刻系統 - Research NCKU - 成功大學

在半導體製程中，蝕刻被用來將某種材質自晶圓表面上移除。蝕刻通常是利用腐蝕性物質移除部份薄膜材料，以達到產生所需圖案之技術。一般將蝕刻分為濕式蝕刻和乾式蝕刻， ...

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