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透過乾式蝕刻製作新型鍺全包覆式閘極電晶體元件

電漿技術在半導體製程中廣泛被應用，例如乾式蝕刻(dry etching)、薄膜沈積、去光阻等等都與電漿技術相關。隨著半導體工業的技術的進步積體電路的尺寸越做越小，所以 ...

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