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蝕刻半導體
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imec開發虛擬晶圓廠鞏固微影蝕刻製程的減碳策略
imec 指出,IC 製造衍生的二氧化碳排放量預計在未來10 年增長4 倍,一來是先進製程技術漸趨複雜,二來晶圓總產量增加;為逆轉未來局勢,領先業界的半導體 ...
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