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蝕刻半導體
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半導體蝕刻機所用靜電盤為何?
半導體蝕刻 機為寡占市場,主要供應商有TEL、應材、科林(LAM)等大廠,一部蝕刻機價格上億元,其內部的關鍵零件自然不便宜,以靜電吸盤(ESC)為例,原廠的報價至少上 ...
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「蝕刻半導體」
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