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可保護半導體晶圓免受氫氟酸等蝕刻溶液影響之材料 - 材料世界網

日本Daicel發表成功地開發出一項可保護半導體晶圓避免受到半導體製程中常用之氫氟酸等蝕刻劑影響的材料。半導體製程中濕式蝕刻的蝕刻選擇比可說是微細 ...

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