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電漿蝕刻技術-技術移轉-產業服務 - 工業技術研究院

本技術可提供半導體晶圓高速蝕刻製程，Si蝕刻速率＆gt;10＆＃181;m/min。 Abstract. This technology provide high etching rate for semiconductor etch process, the ...

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